1200度原子层气相沉积系统

 型号

ALD-TL1200-1200-H-C-I

ALD-TL1200-1200-H-C-II  

ALD-TL1200-1200-H-C-III

TL1200

管式开云手机在线登陆入口

功率  

4KW

4KW

4KW

石英管:60/80/100*1500mm(管径可选）

两边各放置一个开云手机在线登陆入口塞，开云手机在线登陆入口塞可以阻挡开云手机在线登陆入口管中心的热辐射，必须在加热前放置在开云手机在线登陆入口膛的正确位置

外形尺（LXDXH）

1500X450X600

1500X450X600

1500X510X650

电源电压

220V

相数

单相

加热元件

  国产优质电阻丝（可选配瑞典Kanthal A1进口电阻丝）          点击进入资料下载

控制方式

 采用宇电程序控温仪表（标配）

1、30段程序控温智能PID调节。

2、具有过温保护 断偶保护，过温或断偶时电开云手机在线登陆入口加热电路自动切断,，（当电开云手机在线登陆入口温度超过1200度或热电偶烧断

时，主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电开云手机在线登陆入口）。

3、带有485 通讯接口（选购软件时标配）

4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动开云手机在线登陆入口子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时开云手机在线登陆入口温开始升。

5、仪表具有温度自整定的功能

（更换进口仪表，需要另外付费，选购）

FP93控温仪表（日本岛电）               欧陆仪表                                  触摸屏仪表

控温模式

智能PID

断偶保护和显示

有

过温保护

有

过流保护

有

控制精度

+/- 1 ℃

触发器

移相触发

电器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德国西门康

最高温度

温区一：1200 ℃                                        温区二：1200 ℃

额定温度

温区一：1100 ℃                                        温区二：1100 ℃

升温速率

≤30 ℃/ Min （可根据要求修改）

推荐升温速率

≤15℃/ Min

热电偶型号

温区一：K 型                                                     温区二：K型

加热段长度

温区一：200mm                                                  温区二：200 mm

温场曲线

电器认证

四周表面温度

≤45℃

法兰和阀门

GX供气系统主要参数

D07-7C

质量流量计

量程和气体

  5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型）

耐压

3MP

流量控制精度

±1.0%F.S

最大工作（使用）压力

0.3MPa

线性

±0.5%F.S.

重复精度

±0.2% F.S

路数

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路）

接头类型

 双卡套不锈钢接头

系统工作压力范围

0.1~0.5 MPa

工作温度

 5-45℃

压力开云（中国）表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

静态混气室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6  / 1/4”

VS-0.1抽气系统

方案一或方案二任选一个

电源

  220V

尺寸

 650X650X600    /    650X650X300

波纹管

 KF25X1000mm

用该系统抽开云手机在线登陆入口管开云（中国）度可达

 10 -1Pa

开云（中国）挡板阀

 KF25

VRD-16开云（中国）泵

（方案一）

型号

VRD-8

  极限分压强

5X10-2 Pa

   进排气接口

 KF25

    电机转速

1440RPM

抽气速率

 2.2L/S

    电机功率

0.4KW

瑞典（INFICON）

皮拉尼陶瓷电容开云（中国）计

（方案二）

     型号

PCG554

  输入电压

 24V  1A DC（配有220V变压器）

开云（中国）计接口

KF16

数字显示

数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr

产品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

检测气体

可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。

是否防腐

防腐

响应时间

≤30ms

测量范围

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵机组（选购）

（方案一或方案二任选一个）

机组输入电压

380V /220V

波纹管

KF40X1000

开云（中国）挡板阀

KF40

机箱尺寸

600X600X600

分子泵

（方案一）

 分子泵型号

  FJ620

  输入电压

 380V

  分子泵进气口法兰

  DN160

分子泵抽气速率L/S（对空气）

  600

分子泵极限压强（Pa)

6×10-7

冷却方式

 水冷

冷却水压（MPa）

 0.1-0.2

冷却水温度

<25℃

环境温度

0~40℃

建议启动压强

<10pa

分子泵前级开云（中国）泵TRP-24

（方案二）  

功率

0.75KW

电压

380V

转速

1450rpm

进气口径

 KF25/KF40

前机泵抽气速率（L/S）

6

极限压强

4X10 -2Pa

德国Pfeiffer开云（中国）泵

（方案二）

电压

220V

功率

110W

抽气接口

KF40

重量

150KG

前机泵抽速

0.9m 3/ h

抽气速率（N2）

33L/S

复合开云（中国）计

复合开云（中国）计型号

ZDF

 电源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 开云（中国）计测量范围

10-5 -10 5 Pa