1200℃-1400℃-1200℃三温区PECVD系统
详细技术参数
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管式开云手机在线登陆入口
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型号 |
TL1200-1400-1200-H-PE-I |
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功率 |
6KW |
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开云手机在线登陆入口管尺寸 |
Dia 60(OD) X2700mm |
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电源电压 |
220V |
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相数 |
单相 |
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加热元件 |
硅碳棒 国产优质电阻丝（可选配瑞典Kanthal A1 进口电阻丝） 点击进入资料下载 |
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控制方式
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采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电开云手机在线登陆入口加热电路自动切断,，（当电开云手机在线登陆入口温度超过1200度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电开云手机在线登陆入口）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动开云手机在线登陆入口子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时开云手机在线登陆入口温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
（更换进口仪表，需要另外付费，选购） |
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控温模式 |
智能PID |
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断偶保护和显示 |
有 |
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过温保护 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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触发器 |
移相触发 |
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电器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
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最高温度 |
温区一：1200 ℃ 温区二：1400 ℃ 温区三：1200 ℃ |
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额定温度 |
温区一：1100 ℃ 温区二：1300 ℃ 温区三：1100 ℃ |
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升温速率 |
≤30 ℃/ Min （可根据要求修改） |
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推荐升温速率 |
≤15℃/ Min |
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热电偶型号 |
温区一：K 型 温区二：S型 温区三：K型 |
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加热段长度 |
温区一：200mm 温区二：200 mm 温区三：200mm |
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电器认证 |
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四周表面温度 |
≤45℃ |
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阀门和法兰
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功率输出范围 |
0-500W |
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最大反射功率 |
200W |
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工作频率 |
射频：13.56MHZ±0.005% |
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功率稳定度 |
+/-0.1% | ||
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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射频区域宽度 |
0-600mm 可调 |
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匹配方式 |
自动 |
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冷却方式 |
分冷 |
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噪声 |
<50dB |
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射频接口 |
50Ω N-type |
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输入电源 |
208-240V 50/60HZ |
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量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） |
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耐压 |
3MP |
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流量控制精度 |
±1.0%F.S |
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最大工作（使用）压力 |
0.3MPa |
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线性 |
±0.5%F.S. |
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重复精度 |
±0.2% F.S |
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路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） |
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接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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系统工作压力范围 |
0.1~0.5 MPa |
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工作温度 |
5-45℃ |
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压力开云（中国）表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 / 1/4” |
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电源 |
220V |
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尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
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波纹管 |
KF25X1000mm |
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用该系统抽开云手机在线登陆入口管开云（中国）度可达 |
10 -1Pa |
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开云（中国）挡板阀 |
KF25 |
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型号 |
VRD-8 |
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极限分压强 |
5X10-2 Pa |
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进排气接口 |
KF25 |
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电机转速 |
1440RPM |
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抽气速率 |
2.2L/S |
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电机功率 |
0.4KW |
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型号 | ACP15 | |
| 电源 | AC100-240 50/60HZ | ||
| 功率 | 450W | ||
| 重量 | 25KG | ||
| 最高氦气漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | ||
| 抽气速率 | 14 m3/h | ||
| 极限压强 | 0.02Torr | ||
| 进、排气接口 | KF25 | ||
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型号 |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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开云（中国）度测量范围 |
0.1-10 5 Pa |
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电阻硅 |
ZJ-52T |
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型号 |
PCG554 |
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输入电压 |
24V 1A DC（配有220V变压器） |
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开云（中国）计接口 |
KF16 |
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数字显示 |
数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr |
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产品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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检测气体 |
可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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响应时间 |
≤30ms |
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测量范围 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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机组输入电压 |
380V /220V |
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波纹管 |
KF40X1000 |
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开云（中国）挡板阀 |
KF40 |
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机箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵型号 |
FJ620 |
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输入电压 |
380V |
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分子泵进气口法兰 |
DN160 |
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分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
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分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
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冷却方式 |
水冷 |
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冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷却水温度 |
<25℃ |
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环境温度 |
0~40℃ |
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建议启东压强 |
<100pa |
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功率 |
0.75KW |
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电压 |
380V |
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转速 |
1450rpm |
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进气口径 |
KF25/KF40 |
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前机泵抽气速率（L/S） |
6 |
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极限压强 |
4X10 -2Pa |
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电压 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽气接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前机泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽气速率（N2） |
33L/S |
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复合开云（中国）计型号 |
ZDF |
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电源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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开云（中国）计测量范围 |
10-5 -10 5 Pa |
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质保期
一年保修，终身技术支持
特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不在保修期内。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1.开云手机在线登陆入口管内气压不可高于0.02MPa
2.由于气瓶内部气压较高，所以向开云手机在线登陆入口管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa
3.当使用的开云手机在线登陆入口管为石英管时，开云手机在线登陆入口体温度高于1000℃时，开云手机在线登陆入口管内不可处于开云（中国）状态，开云手机在线登陆入口管内的气压需和大气压相当
4.对于样品加热的实验，不建议关闭开云手机在线登陆入口管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如开云手机在线登陆入口 管破裂，法兰飞出等）
TL1200-1400-1200 滑竿式三温区PECVD系统，由三台滑竿式开云（中国）管式开云手机在线登陆入口、石英开云（中国）室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、开云（中国）测量系统、电动拖动机构组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英开云（中国）室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
这款三温区PECVD系统是一款能够快速加热、冷却的PECVD系统，是在三台管式开云手机在线登陆入口安装一对电动滑轨，可用电动滑动系统。加热和冷却速率最大可达100°C/min。为取得最快加热，可以预先加热开云手机在线登陆入口子到设定的温度，然后移动开云手机在线登陆入口子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动开云手机在线登陆入口子到另一端。加热和冷却速率在开云（中国）或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速加热、冷却的双温区PECVD系统。
这款三温区PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝和硅碳棒为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，开云手机在线登陆入口膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，开云手机在线登陆入口管两端采用不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽开云（中国）时开云（中国）度能够达到10-3 Pa， 分两个温区，两个温区可以独立控制、设置不同的温度，使用方便，操作简单，该开云手机在线登陆入口具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、生长石墨烯、生长各种薄膜的理想产品.。
1、加热元件
（1）、硅碳棒的热端粗度d为14mm、一般厂家采用的12MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低，使用寿命长。
（2）、m冷端长度为210mm， 一般厂家采用180mm, 冷端长开云手机在线登陆入口顶温度低。
（3）、硅碳棒表面氧化非晶膜致密，能够比较好的保护碳棒。
2、 电阻丝开云手机在线登陆入口膛
(1)、使用开云（中国）吸附成型工艺，将加热元件嵌入固定在耐火材料内，是集发热和隔热的为一体的电热模块单元
(2)、使用温度高达1250度，具有卓越的加热效果和热稳定性
(3)、开云手机在线登陆入口膛里电阻丝的间距和节距全部按日本最优的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
(4)、采用4周加热，温场更加均衡
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
电阻均匀 、 发热量均衡
温场效果好
3、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
4、可以与电脑连接（选购）
该开云手机在线登陆入口配可有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制开云手机在线登陆入口子的各个参数，并能从电脑上观察到开云手机在线登陆入口子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，开云手机在线登陆入口子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
5、开云手机在线登陆入口膛
进口开云手机在线登陆入口膛 VS 国产开云手机在线登陆入口膛
1、开云（中国）吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化开云手机在线登陆入口膛。
2、采用日本技术成型。
3、开云手机在线登陆入口膛材料热容低、热传导系数低，从而散热少、保温好、反射率高。温场均衡。
4、开云手机在线登陆入口膛氧化铝丝细而长、耐温高、抗热涨冷缩能力强。
5、开云手机在线登陆入口膛表面光洁、不易掉粉。
6、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
7、多款可供选择的各种法兰 （直径从25到250mm）
铰链式法兰（选购） 可以接电阻开云（中国）计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
8、认证
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TL1200-1400-1200三温区滑动式PECVD系统标配
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描叙 |
数量 |
图片 |
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TL1200-1400-1200三温区滑动式管式开云手机在线登陆入口 |
1 套 |
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石英管 |
1根 |
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不锈钢法兰 |
1 套 |
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不锈钢开云手机在线登陆入口钩 |
1 个 |
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氧化铝开云手机在线登陆入口塞 |
3个 |
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高温手套 |
1 双 |
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氧化铝坩埚 |
1 个 |
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| Ｋ型热电偶 | 3个 |  |
|
485转换接口和软件（选配） |
1 套 |
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说明书 |
1本 |
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法兰支撑架 |
1 份 |
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供气系统 |
1台 |  |
| VS-0.1抽气系统 | 1台 |  |
| 射频电源 | 1台 |
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| 卡套 | 4个 |  |
| 波纹管 | 1支 |  |
| 开云（中国）挡板阀 | 1个 |  |
| 钢瓶接头（N代表路数） | N个 |  |
| 阀门接头 | 2 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 |  |
