1200度单温区滑竿式PECVD系统
详细技术参数
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TL1200-S 管式开云手机在线登陆入口 |
型号 |
TL1200-S-H-PECVD-I |
TL1200-S-H-PECVD-II |
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功率 |
1.5KW |
1.5KW |
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开云手机在线登陆入口管尺寸 |
Dia25(OD)X1200mm |
Dia50(OD)X1200mm |
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外形尺寸（LXDXH） |
2100X700X1200 |
2100X700X1200 |
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电源电压 |
220V |
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相数 |
单相 |
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加热元件 |
进口瑞典Canthal A1 电阻丝 点击进入资料下载 |
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控制方式
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采用宇电程序控温仪表（标配） 1、30段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电开云手机在线登陆入口加热电路自动切断,，（当电开云手机在线登陆入口温度超过1200度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电开云手机在线登陆入口）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动开云手机在线登陆入口子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时开云手机在线登陆入口温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
（更换进口仪表，需要另外付费，选购）
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控温模式 |
智能PID |
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断偶保护和显示 |
有 |
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过温保护 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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触发器 |
移相触发 |
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电器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
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最高温度 |
1200 ℃ |
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额定温度 |
1100 ℃ |
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升温速率 |
≤20 ℃/ Min （可根据要求修改） |
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推荐升温速率 |
≤10℃/ Min |
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热电偶型号 |
K 型 |
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加热段长度 |
205mm |
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电器认证 |
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四周表面温度 |
≤45℃ |
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功率输出范围 |
0-500W |
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最大反射功率 |
200W |
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信号频率 |
射频：13.56MHZ±0.005% |
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功率稳定度 |
+/-0.1% | |||
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谐波分量 |
≤-50dbc |
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射频区域宽度 |
0-600mm 可调 |
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匹配方式 |
自动 |
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冷却方式 |
分冷 |
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噪声 |
<50dB |
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射频接口 |
50Ω N-type |
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输入电源 |
208-240V 50/60HZ |
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量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） |
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耐压 |
3MP |
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流量控制精度 |
±1.0%F.S |
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最大工作（使用）压力 |
0.3MPa |
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线性 |
±0.5%F.S. |
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重复精度 |
±0.2% F.S |
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路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） |
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接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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系统工作压力范围 |
0.1~0.5 MPa |
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工作温度 |
5-45℃ |
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压力开云（中国）表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 / 1/4” |
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电源 |
220V |
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尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
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波纹管 |
KF25X1000mm |
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用该系统抽开云手机在线登陆入口管开云（中国）度可达 |
10 -1Pa |
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开云（中国）挡板阀 |
KF25 |
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型号 |
VRD-8 |
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极限分压强 |
5X10-2 Pa |
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进排气接口 |
KF25 |
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电机转速 |
1440RPM |
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抽气速率 |
2.2L/S |
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电机功率 |
0.4KW |
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型号 | ACP15 | ||
| 电源 | AC100-240 50/60HZ | |||
| 功率 | 450W | |||
| 重量 | 25KG | |||
| 最高氦气漏率 | 5 · 10-8 Pa m3/s | |||
| 抽气速率 | 14 m3/h | |||
| 极限压强 | 0.02Torr | |||
| 进、排气接口 | KF25 | |||
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型号 |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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开云（中国）度测量范围 |
0.1-10 5 Pa |
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电阻硅 |
ZJ-52T |
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型号 |
PCG554 |
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输入电压 |
24V 1A DC（配有220V变压器） |
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开云（中国）计接口 |
KF16 |
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数字显示 |
数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr |
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产品尺寸 |
46mm×28mm×126mm ( L x W x H) |
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重量 |
5 lbs |
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检测气体 |
可检测各种气体，包括混合气体，测量精确、重复性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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响应时间 |
≤30ms |
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测量范围 |
3.8x10-5 -1125 Torr. |
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机组输入电压 |
380V /220V |
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波纹管 |
KF40X1000 |
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开云（中国）挡板阀 |
KF40 |
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机箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵型号 |
FJ620 |
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输入电压 |
380V |
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分子泵进气口法兰 |
DN160 |
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分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
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分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
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冷却方式 |
水冷 |
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冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷却水温度 |
<25℃ |
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环境温度 |
0~40℃ |
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建议启东压强 |
<100pa |
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功率 |
0.75KW |
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电压 |
380V |
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转速 |
1450rpm |
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进气口径 |
KF25/KF40 |
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前机泵抽气速率（L/S） |
6 |
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极限压强 |
4X10 -2Pa |
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电压 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽气接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前机泵抽速 |
0.9m 3/ h |
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抽气速率（N2） |
33L/S |
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复合开云（中国）计型号 |
ZDF |
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电源 |
220V 55W |
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控制精度 |
± 1% |
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开云（中国）计测量范围 |
10-5 -10 5 Pa |
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TL1200-S-H-PECVD Mini型滑竿式PECVD系统，由TL1200-S-Mini型滑竿式开云（中国）管式开云手机在线登陆入口、石英开云（中国）室、射频电源、GX供气系统、抽气系统、开云（中国）测量系统组成。
主要特点：
1、通过射频电源把石英开云（中国）室内的气体变为离子态。
2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。
3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。
4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、一致性和稳定性高。
5、广泛应用于：各种薄膜的生长，如：SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。
这款TL1200-S-H-PECVD Mini型滑竿式PECVD系统是一款能够快速加热、冷却PECVD系统，是在PECVD系统上安装一对滑轨，可用手动滑动系统（可按需求设计成电动）。加热和冷却速率最大可达100°C/min。为取得最快加热，可以预先加热开云手机在线登陆入口子到设定的温度，然后移动开云手机在线登陆入口子到样品位置。为获得最快冷却，可在样品加热后移动开云手机在线登陆入口子到另一端。加热和冷却速率在开云（中国）或者惰性气体环境下可以达到10°C/s，是低成本快速加热、冷却的PECVD系统。
这款TL1200-S-H-PECVD Mini型滑竿式PECVD系统以瑞典Kanthal电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30段程序控温仪表，移相触发、可控硅控制，开云手机在线登陆入口膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，开云手机在线登陆入口管两端采用不锈钢法兰密封，不锈钢法兰上安装有气嘴、阀门和压力表，抽开云（中国）时开云（中国）度能够达到10-3 Pa， 该系统使用方便，操作简单，具有温场均衡、表面温度低、升降温度速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿企业做高温气氛烧结、生长石墨烯、生长各种薄膜的理想产品.。
1、瑞典Kanthal A1 电阻丝
Kanthal A1 原丝 国产电阻丝开云手机在线登陆入口膛 VS 进口电阻丝开云手机在线登陆入口膛
(1)、表面温度高可达1420℃
(2)、表面为不锈钢色（非常亮、客户识别时要注意）、不会生锈，使用时间再长都不会掉渣。
(3)、Kanthal电阻丝资料下载
(4)、Kanthal电阻丝网站：www.kanthal.com
(5)、电阻均衡、温场均衡性好
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大部分厂家使用的首钢生产的Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo 电阻丝 Kanthal A1 电阻丝 电阻均匀 、 发热量均衡
有时候电阻不均衡、一部分发热量大一部分发热量小 温场效果好
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
3、可以与电脑连接
该开云手机在线登陆入口配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制开云手机在线登陆入口子的各个参数，并能从电脑上观察到开云手机在线登陆入口子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，开云手机在线登陆入口子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、开云手机在线登陆入口膛
1、开云（中国）吸滤成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化开云手机在线登陆入口膛。
2、采用日本技术成型。
3、开云手机在线登陆入口膛里电阻丝的间距和节距全部按日本成熟的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热，温场更加均衡
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的进口电器）
6、认证
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7、法兰
铰链式法兰（选购） 可以接电阻开云（中国）计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
TL1200单温区滑动式PECVD系统标配
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描叙 |
数量 |
图片 |
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TL1200-1200滑动式管式开云手机在线登陆入口 |
1 套 |
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石英管 |
1根 |
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不锈钢法兰 |
1 套 |
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不锈钢开云手机在线登陆入口钩 |
1 个 |
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氧化铝开云手机在线登陆入口塞 |
3个 |
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高温手套 |
1 双 |
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氧化铝坩埚 |
1 个 |
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| Ｋ型热电偶 | 1个 |  |
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485转换接口和软件（选配） |
1 套 |
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说明书 |
1本 |
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法兰支撑架 |
1 份 |
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供气系统 |
1台 |  |
| VS-0.1抽气系统 | 1台 |  |
| 射频电源 | 1台 |  |
| 卡套 | 4个 |  |
| 波纹管 | 1支 |  |
| 开云（中国）挡板阀 | 1个 |  |
| 钢瓶接头（N代表路数） | N个 |  |
| 阀门接头 | 2个 |  |
| 聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 |  |
